電感耦合等離子體（ICP）是由高頻電流經(jīng)感應線(xiàn)圈產(chǎn)生高頻電磁場(chǎng)，使工作氣體形成等離子體，并呈現火焰狀放電（等離子體焰炬），達到10000K的高溫，是一個(gè)具有良好的蒸發(fā)－原子化－激發(fā)－電離性能的光譜光源。

ICP定量分析方法主要有外標法、標準加入法和內標法：

1、外標法。利用標準試樣測的常數后，又用該式來(lái)確定試樣的濃度。

2、標準加入法，又稱(chēng)添加法或增量法，用以減小或消除基體效應的影響。

3、內標法。在試樣和標準試樣中分別加入固定量的內標物，利用分析元素和內標元素譜線(xiàn)強度比與待測元素濃度繪制標準曲線(xiàn)，并進(jìn)行樣品分析。

ICP定量分析的依據是Lomakin-Scherbe  公式：I=aCb

其中I：譜線(xiàn)強度   C：待測元素的濃度   a：常數   b: 分析線(xiàn)的自吸收系數（b與光源特性、待測元素含量、元素性質(zhì)及譜線(xiàn)性質(zhì)等因素有關(guān)）

一般情況下b≤1，在ICP光源中，多數情況下b≈1。